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SHI 低温泵
低温泵型号
CP-8
CP-8LP
CP-250LP
CP-12
CP-16
CP-20
SICERA
8'
SICERA 12'
抽速
(升/秒)
空气
1500
1800
3060
3600
4800
9700
1500
3300
水蒸汽
4200
4200
6300
9860
17300
29100
4000
9500
氩气
1250
1500
2500
3100
4100
8300
1200
2700
氢气
2300
3000
5000
7300
12000
14000
2200
6000
吞吐量
氩气(托-升/秒)
11
11
11
12.6
11.4
1.3
8.9
8.9
氩气
(sccm)
870
870
870
1000
900
900
700
700
吸附能力(标升)
氩气@
1 x 10-6 托
1200
1600
1600
310
0
5500
6000
1000
2000
氢气@
5 x 10-6托
25
25
25
50
50
33
12
30
Crossover (托-升)
220
220
220
650
500
400
150
150
降温时间 (分钟)
75
110
110
90
135
190
120
150
接口法兰
ANSI
6'
6'
N/A
10'
N/A
20'
N/A
N/A
ISO
200 mm
200 mm
250 mm
320 mm
400 mm
500 mm
N/A
N/A
Metal Seal (Conflat)
10'
10'
N/A
N/A
N/A
N/A
253 mm
CVC
N/A
N/A
N/A
10'
10'
N/A
N/A
N/A
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