SHI 低温泵

低温泵型号		CP-8	CP-8LP	CP-250LP	CP-12	CP-16	CP-20	SICERA 8'	SICERA 12'
抽速(升/秒)	空气	1500	1800	3060	3600	4800	9700	1500	3300
	水蒸汽	4200	4200	6300	9860	17300	29100	4000	9500
	氩气	1250	1500	2500	3100	4100	8300	1200	2700
	氢气	2300	3000	5000	7300	12000	14000	2200	6000
吞吐量	氩气(托-升/秒)	11	11	11	12.6	11.4	1.3	8.9	8.9
	氩气(sccm)	870	870	870	1000	900	900	700	700
吸附能力(标升)	氩气@ 1 x 10-6 托	1200	1600	1600	3100	5500	6000	1000	2000
	氢气@ 5 x 10-6托	25	25	25	50	50	33	12	30
Crossover (托-升)		220	220	220	650	500	400	150	150
降温时间 (分钟)		75	110	110	90	135	190	120	150
接口法兰	ANSI	6'	6'	N/A	10'	N/A	20'	N/A	N/A
	ISO	200 mm	200 mm	250 mm	320 mm	400 mm	500 mm	N/A	N/A
	Metal Seal (Conflat)	10'	10'	N/A	N/A	N/A	N/A	253 mm
	CVC	N/A	N/A	N/A	10'	10'	N/A	N/A	N/A

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