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安捷伦干泵/干式涡旋泵

安捷伦(原Varian)公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速,低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势,是众多应用领域的理想前级真空获得产品。

IDP-3 系列干泵是安捷伦公司推出的紧凑型全无油的高性能真空泵,能够适合非常广泛的应用需要。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr(约33Pa)极限压强,使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。

SH-110全密封干式涡旋泵具有业内先进的真空获得性能,结构紧凑,能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下),可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空,即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

TriScroll 300 是一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明,安捷伦独有的专利TriScroll 300 设计具有很高的可靠性和耐用性,产品性能稳定,性价比非常突出。

TriScroll 600 是一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。多年的实际应用证明,Varian独有的专利TriScroll设计具有很高的可靠性和耐用性,产品性能稳定,性价比非常突出。


型号IDP-3SH-110TriScroll 300TriScroll 600
抽速(l/min)5090210420
极限真空(mbar)0.330.0660.0130.0093
冷却方式风冷风冷风冷风冷
重量(Kg)9.51926.432


产品特点:

◆  全无油泵,不会污染真空系统

◆  采用独立马达与轴承的密封设计

◆  体积小巧:351x181x140mm

◆  与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强

◆  无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆  低噪声,低振动


性能特点

◆  工作状态下泵体发热低

◆  马达功率不到200瓦,低功耗

◆  内置出气阀门有效降低工作噪声

◆  出气口位置可以动,以便更好地适应空间要求

◆  高压区间抽速高,确保迅速进入真空状态

◆  重量轻,配有把手,易于携带

◆  内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全

◆  配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

◆  维护简便,只需定期更换密封圈即可


技术特点

◆  独有的TriScrollTM专业结构设计

◆  具有轴承吹扫功能,保护轴承不被工艺气体或粉尘污染

◆  高可靠性

◆  具有自动气镇口

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