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三维磁场探针台

北京东方晨景科技有限公司提供的三维磁场探针台,采用无磁材料制成,三对类亥姆霍兹线圈正交放置,产生空间三维磁场,线圈采用水冷结构,并且配备有线圈过热保护装置,可以长时间稳定工作。通过软件或者电源前面板控制每一维上的输出电流,可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等,广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

三维磁场探针台和东方晨景自主研发的高精度双极性电源相匹配,通过真正的双极性电源输出,实现了空间任意方向上的矢量场合成.

三维磁场探针台

 

 

维磁场探针台参数

◆ X轴线圈外径:640mm 

◆ Y轴线圈外径:470mm 

◆ Z轴线圈外径:260mm 

◆ X轴线圈间距:240mm 

◆ Y轴线圈间距:126mm

◆ Z轴线圈间距:100mm

◆ X轴线圈电流:≤14A

◆ Y轴线圈电流:≤14A

◆ Z轴线圈电流:≤14A

◆ X轴中心最大磁场:≥300Gs

◆ Y轴中心最大磁场:≥300Gs

◆ Z轴中心最大磁场:≥300Gs

◆ X轴均匀度(Φ20球体):0.1%

◆ Y轴均匀度(Φ20球体):0.07%

◆ Z轴均匀度(Φ20球体):0.5%

◆ 线圈冷却形式:水冷

◆ 线圈工作温度:<60℃

◆ 总重量:约330㎏ 

    

样品台参数 

◆ 样品台直径:最大102mm(可更换)

◆ X方向行程:±51mm

◆ Y方向行程:±51mm

◆ 旋转角度:360°

◆ 旋转精度:0.1°

◆ 料:无磁 


探针座参数 

◆ X向行程:±6mm

   Y向行程:±6mm 

   Z向行程:±6mm

   分辨率:20μm 

   三围尺寸:38W*62D*54H 

   重量:200克 

  注:探针座可选 


  探针参数

   长度:38mm 

   直径:0.51mm 

   针尖直径:10μm 

   材料:钨 

    注:探针可选 


显微镜参数

 成像元件:CMOS 

 成像原件像素:1000万

 有效像素:1280*1024

 续变倍:6X-600X

 视场范围:3.5mm-35mm 

 调焦范围:65mm 

 镜头直径:50mm 

 最小分辨率:1微米 

 十字光标:4组 

 输出视频:VGA

 显示器:19寸LCD 

    注:显微镜可选 


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