东方晨景成功研制出液氮探针台。LNPS-80液氮探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到80mm。可以对材料或器件的电学特性、光电特性等效应进行测量,为DC测量RF测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。 样品台上装有温度传感器和加热器,实现样品台快速变温以及精准控温。为了提高系统的实用性和操作性,系统配备了高放大倍数的显微镜。
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